第二百九十九章 研发中的第四代光刻机

　　温成岭跟随罗佳离开办公室，来到光学部地下三层。

　　在那里，温成岭见到了一部机器，一部验证原型机，型号为超光刻初代。

　　“这是一台光刻机？”

　　温成岭停下脚步，疑惑的问，同时露出震惊的表情。

　　商用型号光刻机会进行外包装，而这台是初代机，所以内部元器件都是裸露在外的，透过落地玻璃，可以一览无余。

　　温成岭震撼于这台机器的设计，它个体很大，拥有多达六个机台，其中三个是测量机台，另外三个是标准曝光台。

　　更多机台可以提高光刻机的工作效率，每小时产出更多硅片。

　　然而增加机台的同时，也对机械结构以及机台的减震能力，提出了更高要求，难度系数呈几何倍数增加，所以绝大多数光刻机的机台都只有两个。

　　光刻机是半导体领域的皇冠，需要无尘环境，此刻罗佳他们站在实验室外面，隔着一层玻璃。

　　“要不要进去看一看？”罗佳问道。

　　“真的可以吗？”温成岭微微一怔，显得非常激动。

　　“当然了，我们去换防尘服。”罗佳笑着说。

　　温成岭在北美上学和工作的年代，中美关系还不像如今这样紧张，所以他是识货的，在斯坦福大学的实验室里，见过许多光学领域最前沿的科技。

　　时至今日，北美方面已经不允许华夏留学生，进入关键性科技领域学习了，以防止技术外泄，半导体，生命科学，航空航天，都属于被禁的领域。

　　但温成岭虽然见多识广，却从未见过这样夸张的光刻机设计，一台机器，同时在六个机台上展开全自动作业，效率应该会非常高吧。

　　温成岭一边换上白色防尘服，一边暗暗在心里想，世界科技史上，从来就不缺乏精彩绝伦的创意，然而把创意变为现实，却是非常困难的，星辰科技的初代机，应该还是用来做验证，完成度应该不会太高才对。

　　光刻机这个东西难到了什么程度呢？

　　全世界只有一家公司能做EUV，也就是荷兰ASML。

　　紫外光时代，全球有上百家企业出没在光刻机领域，那个时候真可谓百花齐放，精彩纷呈。

　　然而好景不长，随着深紫外光技术的推出，原本一百多家制造光刻机的企业，锐减到三家，除了佳能，尼康，ASML之外，其他所有企业全部惨遭淘汰。

　　从这也不难看出，一次技术进步，会给全行业带来多么严重的洗牌。

　　所有人都死了，还活着的三家自然赚的盆满钵满，他们吃着火锅，唱着歌，大把钞票自然就来了，生活简直不要太惬意。

　　可惜时间又过了几年，随着半导体技术不断推陈出新，深紫外光刻也渐渐变的力不从心。

　　于是光刻机领域开始了第二轮技术竞赛，而这次技术竞赛的结果，是佳能和尼康出局，荷兰ASML成为最后的赢家。

　　全球唯一能够制造极紫外EUV光刻机的超级怪兽，就此诞生！

　　这样的惨烈竞争，简直可怕！

　　要知道，尼康和佳能绝不是吃素的，他们都是这个世界上最厉害的光学企业。

　　一说起他们两家，普通人会马上想到数码相机，各种镜头之类的民用产品，但尼康和佳能最强大和最赚钱的并不是民用领域，而是医疗器械。

　　当你去医院里，花一千来块钱拍个CT的时候，所用的设备，很可能就是佳能或者尼康制造的，要不然就是理光，西门子，日立。

　　而一台CT设备的售价，高达上千万元，仅仅华夏地区，就有上万套CT设备，全部来自进口，你猜这些年来，霓虹医疗器械巨头，从华夏赚走了多少钱？

　　再说，你买了一台CT机并不算完，配套软件，设备检修，各种耗材，也是要花钱从霓虹人手里买。

　　总而言之，佳能和尼康是极其厉害的企业，光学领域扛鼎的存在，却依然惨败给荷兰ASML，足以看出这个行业的门槛不是高，而是高到了天上。

　　荷兰ASML也不是什么无名小卒，它们的前身是大名鼎鼎的飞利浦光学，他们用的物镜，来自全球镜片领域第一大牛，德国卡尔.蔡司。

　　可以说，集合整个欧洲，再加上一部分北美的力量，才搞出了ASML这个怪物。

　　在过去，ASML是没有对手的，直到星辰科技出现。

　　罗佳异想天开，决定弯道超车，绕过由紫外光，深紫外光，极紫外光组成的前三代核心技术，直接进入光刻机的第四代，超紫外混合激光，这其中的难度，外行人是永远无法明白的。

　　唰~

　　温成岭正思考着，实验室的密封门忽然在他面前打开了。

　　他笑了笑，在进入实验室之前对罗佳认真的说道：“罗总，我的专业是激光，也自信能够搞定光刻机的光源问题，但您应该也知道，一台光刻机仅仅有光源是不够的，其他数以千计的核心零部件，我可就无能为力了。”

　　这算是给罗佳打预防针了，他说这话的意思是，我能帮你把超紫外混合激光搞出来，但激光之外的事情，我也是无能为力，还要看星辰科技自己的力量。

　　罗佳只是点头笑了笑，并没有说什么。

　　两个人很快来到这台机器跟前，罗佳淡淡的说，“这就是我们的初代机，它共分为十三大结构，分别是激光发生器，光束矫正器，能量控制器，光束形状调整器，遮光器，能量探测器，掩膜版，掩膜台，物镜，测量台，曝光台，封闭框架，磁悬浮减震。”

　　罗佳指着机器，介绍这台复杂的组成。

　　虽然听名字似乎很简单，但就算用脚后跟想也能明白，作为半导体行业的王冠，又怎么可能简单呢。

　　就拿这台光刻机的物镜来说，如果你以为那是一个类似单反镜头东西，那就完全错了。

　　ASML公司EUV型光刻机采用的物镜，高达一米八四，宽度接近七十公分，是德国光学巨头卡尔.蔡司集团，与激光巨头亚琛集团联合制造的。

　　物镜多少钱？

　　抱歉，无论罗佳掏多少钱，都买不到这套物镜。

　　从成本的角度估算，这套物镜的成本应该在一千万美元左右，其复杂程度和精确程度，足以被写入光学发展史。

　　罗佳给温成岭看的，就是这么个东西，它巨大而精密，充满科幻电影般的未来感。

　　而且ASML的EUV是第三代，罗佳这个是第四代，超紫外光，技术复杂程度还要更高。

　　“你们竟然已经做到了这种程度！？”温成岭激动的瞪大眼睛，发出不可思议的声音。

　　刚才距离远，又隔着玻璃，所以没太看清楚，还以为是个样子货。

　　如今走进无尘实验室里，温成岭才恍然发觉，这台四代光刻机的完成度，已经如此之高！